Anns na beagan bhliadhnaichean a dh 'fhalbh, tha teicneòlas mothachail mo dùthaich a' sàsachadh gu luath, agus tha na raointean tagraidh aige a 'leudachadh. Mar an seòrsa dealbhaidh as aibidh, bidh teicneòlasan ùra, stuthan ùra agus pròiseasan ùra an-còmhnaidh a 'nochdadh anns an raon de mhothain.
Is e neach-leantainn cuideam a th 'ann an inneal a chleachdar gus comharran cuideam a lorg agus an tionndadh gu comharran dealain a rèir riaghailtean sònraichte. Tha e air a chleachdadh gu farsaing ann an grunn chinneasachaidh, àiteachan gnìomhachais agus Aeropace.with Tha daoine a chaidh a chleachdadh ann an teòthachd àrd-thùitheach agus eadar-Àbhaisteach Einnseanan Bidh ° C) a 'fàiligeadh, a' toirt a-mach gu fàilligeadh tomhas cuideam. Mar sin, bidh an t-sensor cuideam àrd teòthachd a 'fàs gu bhith na stiùir rannsachaidh glè chudromach.
Seòrsachadh teòthachd àrdmothachdan cuideam
A rèir na diofar stuthan a chaidh a chleachdadh, faodar mothachadh cuideam àrd-aghaidh a roinn, neach-mothachaidh cuideam teannachaidh teòthachd teòthachd teòthachd teòthachd Tha mothachadh cuideaman cliùiteach SOI gu math freagarrach. Tha an rud a leanas a 'toirt a-steach pearsa cuideam teodhachd teòthachd SOI.
Sensor cuideam teòthachd soi
Tha leasachadh a 'mhòr-chuid de luchd-mothachaidh cuideachaidh Sìth-theachdaich Saoi mar as trice a' cur an àite àrdachadh SOI gu sònraichte air an fhilleadh semotes earbsachd an inneal.in a 'cur ris, air sgàth feartan àrd-theallach an ìre dhìreach Soii airson a bhith a' ullachadh mothachadh cuideam àrd-aghaidh.
An-dràsta, chaidh mothachadh neararantach le co-oirean Sao-àrd a leasachadh gu sgiobalta thall thairis, agus tha an teòthachd obrach -55 ~ 45 ° C a 'leasachadh le ionad teicneòlas mothachaidh àrd-inbhe anns na Stàitean Aonaichte; Tha teòthachd-obrach aig an teòthachd cliù aig teòthachd teodhachd Sao-àrd a chaidh a leasachadh le Institiùd Le.Domeic gu gnìomhach cuideachd air an rannsachadh air mothachadh cuideam teòthachd Sathan Sathan Sheoi, Oilthigh Xiaoton, Oilthigh Tianjin, agus oilthigh Pecings. A bharrachd air an sin, tha Institiud Rannsachaidh Teicneòlas Adhartach Fatri san àm ri teachd cuideachd a 'dèanamh obair rannsachaidh co-cheangailte riutha, agus tha am pròiseact làithreach air a dhol a-steach don ìre taisbeanaidh.
Prionnsapal obrach de sensor cuideam teòthachd SOI
Ann am prionnsapal, bidh mothachadh cuideam teòthachd as trice a 'cleachdadh buaidh piezoresististive aon rud air comasachadh nan luchd-giùlan. còmhdach inneal gus drochaid cuibhlichean a dhèanamh mar a chithear ann am Figear 2 (a); Tha cuideam cùil casg air a dhol air falbh air an còmhdach sunnd soi gus structar mothachail cuideam a chruthachadh.
Figear 2 (a) Drochaid Wheatstone
Nuair a thathar a 'cur cuideam air an structar mothachail air an cuideam, an aghaidh atharrachaidhean a' cheartais, a tha an uair sin ag adhbhrachadh gu bheilear a 'toirt buaidh air a' cheangal eadar luach bhall-bheachdach agus an àireamh-aghaidh a 'chlatrachadh.
Pròiseas FABICATIONS de Sensor cuideam teòthachd Soi SOI
Tha am pròiseas ullachaidh de shothachadh cuideam teannachaidh tiugh Saoi a 'toirt a-steach iomadh pròiseas MEMS. Tha cuid de phrìomh cheuman air an toirt a-steach an seo gus pròiseas an t-sensor, a tha sa mhòr-chuid a 'toirt a-steach ullachadh piezoresstor, ullachadh meatailt, ullachadh fìdhlear mothachail, agus pacadh seòmar cuideam.
Tha an iuchair airson ullachadh atharrachaidhean ann an smachd an dùmhlachd dopadh agus an optimization a 'phròiseas molaidh searbh; Tha am prìomh phàirt sa mhòr-chuid na tha an ìre mhòr mar cheangal air an drochaid cuibhlichean; Tha ullachadh an fhilmear cuideam mothachail gu sònraichte sa mhòr-chuid air a 'phròiseas snaidheadh domhainn silicon; Bidh pacadh a 'chuas a' dèanamh eadar-dhealaichte a rèir a 'chuir an neach-mothachaidh cuideam,
Leis nach urrainn dha na mothachairean cuideam àrd-aghaidh aig an t-àite gu sgiobalta coinneachadh ri riatanasan tomhais cuideam de dh 'àrainneachdan eagallach agus einnseanan co -eothachaidh tha e na stuthan sònraichte airson luchd-mothachaidh bathar àrd-teòthachd. Bu chòir do rannsachadh san àm ri teachd air luchd-mothachaidh cuideaman aghaidh teòthachd SOI fòcas a chuir air fuasgladh fhaighinn air seasmhachd fad-ùine agus duilgheadasan fèin-thasail de luchd-mothachaidh ann an àrainneachdan cruaidh a tha a 'suirghe agus a' leasachadh cruinneachd mothachain cuideam. taobh.
Gu dearbh, tha feum aig àm an t-seilbheil a thàinig an t-inntinn cuideachd faireachdainnean cuideam eile mar fèin-dhìoladh eile, fèin-shàradh, agus stòradh fiosrachaidh nas fheàrr air a 'mhisean dragh àrainneachd àrd-theasachd. .
Ùine a 'phuist: Mar-03-2023